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執著追求精益求精

2007-05-29 |

——記82級自動化系意昂景玉鵬

1982年🖕🏻，景玉鵬從古城西安走入清華園👨🏻‍🦽‍➡️，進入自動化系工業儀表與檢測專業學習。大學期間，景玉鵬的學習興趣之廣令人嘆服。在他的書桌上，可以找到從微生物、礦石到考古、現代醫學等各種書籍。

畢業後🥫，景玉鵬被分配到武警技術學院從事火災檢測傳感器的開發與教學工作。這一幹就是將近10年🖥，參與了多項防火及安全工程設計。多年的教學和科研經驗使他深切體會到我國的火災傳感器基礎技術和工藝與國際先進水平還有相當大的差距。於是1996年👱‍♂️，景玉鵬自費來到日本，一邊工作一邊開始學習研究傳感器的基礎技術。

初始，景玉鵬在大阪府立產業綜合技術研究所，以半導體平面工藝技術🔼，研究開發機器人微米尺寸的氣敏傳感器陣列🐣。後來，景玉鵬到姬路工業大學從師高山洋一郎先生，開始深入研究單晶矽的堿性異向腐蝕添加劑的影響📎。他首次發現碘對提高腐蝕界面光潔度的影響，並取得了工學博士學位。2003年日本富士通公司依靠FBAR射頻濾波器巨大的市場回報♟，在明石研究所成立RF MEMS攻關組，景玉鵬加入並負責可變電容、電感和靜電射頻開關的開發研製工作，並很快提出無應力單晶矽單臂梁結構開關🚊，成功地解決了薄膜工藝的應力變形問題。並在SOI上取得了實驗的成功。景玉鵬在日本近十年的時間裏經歷了技術和產業界的全面磨礪。

2 0 0 5 年🤽🏽，景玉鵬懷著巨大的愛國熱情毅然回國，加入中國科學院微電子研究所，擔任研究員，潛心指導數名博士研究生✢，在M E M S（MICROELECTRO MECHANICAL SYSTEMS，在打印機噴頭和汽車加速度傳感器領域應用廣泛）和RF MEMS（利用MEMS技術開發射頻器件的技術）等高技術前沿方向上繼續從事研究工作。他還將RF MEMS的單晶矽單臂梁結構開關發展成為推拉撬板式結構的開關👀，從根本上解決了現射頻MEMS開關沒有恢復力的世界性難題👨‍💻，並在國內申請了兩項專利🌊。

（82級自動化系自儀22班供稿）

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